PINNACLE
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| 仪器 PINNACLE 参数指标: | |
| 测量范围 | 250×165×100 MM   | 
  
| 分辨率 | 0.1μm (0.025μm作为选配) | 
| 马达驱动系统 | 线性马达(XY),Z轴DC伺服马达 | 
| 速度 | 400 MM/sec | 
| 载重 | 25㎏ | 
| 光学系统 | 标配:单倍固定倍率光学系统,1倍-2倍(30倍-550倍屏幕显示放大倍率)  选配:两种固定倍率光学系统1-100倍(屏幕显示3580倍)  | 
  
| 光源系统 | 标配:LED背光,多种颜色的同轴正光  选配:具有专利的可编程的环光  | 
  
| 影像处理 | 用户可根据自己需要去除毛边,边缘寻边器,快速寻边器,自动聚焦,及可供选配的具有专利栅格投影系统,区域寻中心功能,灯炮寿命测试 | 
| 软件 | 多种座标系统,智能化搜索和建立座标系统,功能强大编程功能,包括数学计算,变量名定义,循环分流等。多种不同CAD文本输入。 | 
| 图象处理传感器 | 高分辨率数字化B&WCCD照相机 765×576象素。  | 
  
| 计算机 | Intel奔腾4处理器Windows 2000操作系统 | 
| 电源 | 自动转换100-240V 50/60HZ | 
| 环境 | 17~33℃ 20~80%湿度 | 
| 重量 | 500㎏ | 
| 外观尺寸 | 795×953×1750 MM | 
| 工作站 | 标配:17″SVGA显示器,操作标,鼠标,键盘  选配:15″LCD显示器,操作杆,鼠标,键盘  | 
  
| 精度 | U2(XY平面)=(1.5+L/250)μm  U1(Z轴)=(1.5+L/50)μm L:测量长度单位 MM  |