OSI－120SQ激光球面干涉仪

主要功能：

1、测量光学球面表面面形
2、测量光学球面曲率半径
3、测量光学平面表面面形
4、对干涉条纹进行数字化分析，并以
多种形式表现及保存分数据和结果



技术指标：

技术指标 参数值
测量原理 菲索干涉原理
标准平面镜面形精度 p-v：优于λ/20
球面参照镜面形精度 p-v：优于λ/15
光源 He-Ne激光器
波长 632.8nm
最大工作口径(平面) Φ120 mm
连续变焦倍数 3倍
监视器 10"
测量重复性精度 λ/100(3δ)
电源 210~230V40~60Hz
最佳工作温度 20°C～25°C
导轨长度 1300mm
尺寸 750×620×280mm
重量 约75Kg

主要品质保障设备：
●WYKO 24"双端口平面相移干涉仪
●WYKO RST PLUS表面轮廓仪
●ZYGOGPIXPHR4"球面相移干涉仪