自动化半导体检查显微镜 MX80 ● 显微镜观察所需操作基本电动化，极大提高工作效率 ● 观察条件可设定并存储，使每个操作者得到最适宜自己的观察条件 ● 两种尺寸载物台可选：分别用于200mm晶圆和300mm晶圆 ● 内置式自动聚焦和手动聚焦两种镜体可选