工业检测显微镜 MX61 ● 大型载物台搭载:可用于400X300mm液晶基板.300mm晶圆全面检查(MX61L) ● 采用高NA的透射光聚光镜,图象更锐利 ● 多种观察方式 多种照明方式 多种附件以满足不同应用要求 ● 透射和反射照明可同时使用,极大提高液晶基板观察效果