工业检测显微镜 MX51
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紧凑的设计实现最小的占地空间
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镜臂部分和镜体分开,使高的样品观察成为可能
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标配158X158mm手动移动载物台(最大可用于200mm晶圆检查)
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选配长工作距离物镜,极大方便磁头检查
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采用防静电设计,极大方便磁头检查
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提高系统灵活性和操作舒适性,满足SEMI S2/S8标准