１ 用途 双频激光干涉仪是一种高精度的定位、测量系统。
双频激光干涉仪可方便地安装在测长机上，取代原测长机的坐标系统，作为一般计量室中的长度基准。
双频激光干涉仪是检定数控机床、坐标测量机位置精度的理想手段。检定时可与微机相连，按照规定标准处理测量数据并打印出误差曲线，为机床的修正提供可靠依据。
双频激光干涉仪配有各种附件，可测量小角度、平面度、直线度、平行度、垂直度等形位误差，在现场使用尤为方便。
双频激光干涉仪又是一种高精度的位移传感器，可直接安装于坐标镗、螺丝磨等精密机床及坐标测量机上作为坐标系统，使定位精度大为提高。
双频激光干涉仪具有各种长度测量元件的检测功能，仪器可按预定的间距自动完成检测工作。
双频激光干涉仪与圆分度器结合使用是一套高精度长度——角度比相计，可作为机床传动链、丝杆螺旋线等误差的测量系统。
２ 特点
1）特殊制作的激光器，激光器的工作寿命可达2.5万小时。
2）先进的稳频系统提高了系统稳定性。
3）独特的细分技术，分辨率高、速度高、工作可靠。
4）具有外采样功能和标准并、串接口，用户可根据需要与其他仪器设备相连，有效地扩展激光干涉仪的应用范围。
5）激光的波长自动修正，特别适合于现场使用。
6）丰富的应用软件、迅速地处理测量数据。
7）模块化的结构、体积小、重量轻。
３ 技术指标
| 仪器准确度： | ±（R+0.10L）μm(真空) (R为分辨率,L单位为米) | |
| ± 1.7ppm (使用MJS5460波长补偿器) | ||
| 分辨率： | 0.16μm (MJS5A,MJS5B型) | |
| 0.08μm (MJS5B型) | ||
| 0.02μm (MJS5C型) | ||
| 最大测量速度： | 300mm/S (MJS5A,MJS5C型) | |
| 最大测量距离： | 20m |
| 型 号 | 说 明 | |
| MJS5A型 | MJS5A型配 MJS5110测量显示器（0.16μm）或MJS5130测量显示器（0.16μm） | |
| MJS5B型 | MJS5B型配 计算机插板式，分辨率有0.16μm和0.08μm两种 | |
| MJS5C型 | MJS5C型配 MJS5130测量显示器（0.02μm） |