FRT 系统 具有纳米精度的 快 速表面测量技术

Micro Prof

它通过将白光束照射到样品表面，用微型光谱仪测

量反射光色差来准确确定表面位置与形貌

纵向分辨率： 50nm

横向分辨率： 2 μ m

工作距离： 5mm

纵向测量范围： <300 μ m

横向测量范围： 300X300mm 2