JDS-1 立式接触式干涉仪
Vertical Contact Interferometer |
用途 Applications ：
本仪器是一种采用量块或标准零件借以高精度的比较方式的立式精密长度计量仪器。主要用于 150mm 以下块规，亦可用作高精密度的长度和外径的精密测量，是各级计量室的基本长度计量仪器之一。
JDS-1 Interferometer is applicable for measurement of 3-4 grade gauge blocks or precision sizes up to 150 mm by high-precision comparison with a higher grade of gauge block or a standard reference component. It is one of the basic length-metrological instruments.
主要技术参数 Main Specifications ：
被测件最大长度 Max. testpiece length |
150 mm |
工作台行程 Travel of spindle |
5 mm |
分度值调整范围 Adjusting range of division |
0.05-0.2 μm |
推荐使用分度值 Recommended division |
0.1 μm |
测量压力 Measuring force |
(1.5±0.1) N |
仪器示值稳定性 Instability of indication |
0.02 μm |
仪器误差 Indication error |
±(0.03+3ni?λ) μm n 是格数 , i 是格值 , ?λ 是 滤光片波 长误差， n is number of divisions, i is division value ?λ is error of wavelength |
仪器体积 Dimensions |
280x500x700 mm |
仪器重量 Weight |
40 kg |
标准配件 Standard attachments |
五筋园台 Five-Rib circular stage, 九筋玛瑙台 Agate stage, 可调园平台 Adjustable planar stage 辅助台 Auxiliary stage, fixed 平面 测帽 Planar contact tip, Ф2 小球面 测帽 Small spherical contact tip 干涉滤光片 Wavelength filter |