直线度、同轴度干涉仪组件
本产品具有直线度测量的功能而且允许挡光，这是国内外其他直线度干涉仪做不到的，因此它可以用于测量同轴度和不连续表面平面度。
性能指标
分辨率
行程
直线度干涉仪
0.1微米
30米
