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新型超净间监视系统
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★ 通过了LCD显示,可以进行粒子的现场检测 |
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★ 体积小、总量轻、无需占用较大空间 |
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★ 内藏CPU,具有标准RS-485输出接口 |
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★ 通过安装固定平台及壁挂式金属件,即可在任意场所设置安装 |
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★ 使用水晶插头,配线简单、操作方便 |
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ISO9001,ISO14001 approved
JQA-2790,JQA-EM1628 |
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超小型激光离子传感器通过内置液晶显示来连续监测空气中的例子级别
本系统是连续并同时多点实时监测超净间内粒子浓度的监视系统。粒子检测采用传感器方式的小型粒子传感器(LPS)进行。
通过内置显示器,可连续监测空气中的例子级别。本体体积小,无需要求安装场地。
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系统测试软件的特点:
测试数据通过标准RS-485输出接口箱计算机传送。专用的测试软件适合宽带网络的服务器系统,也可进行各据点间的通信,最适合建立大规模的测试系统。
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● 图表显示,随时了解超净间内实时测试的状态 |
● 采用Windows版本(可适合多任务、多窗口及网络环境) |
● 对应多用途传感器(其它公司产品也可以连接) |
● 具有联邦209E/JIS B 9920的等级判定标准 |
● 具有传感器数据的维护、管理及存储功能 |
软件功能 |
■ 实时监视 ■ 连续测试图表 ■ 每周/每月试图表 |
■ 数据采集/输出 ■ 测试参数的设定 ■ 框图显示 |
■ 数据传送 ■ 超静间清洁度级别的判定 |
推荐采用计算机系统(硬件要求) |
CPU |
Pentium II300MHZ或以上 |
内 存 |
64MB或以上 |
硬 盘 |
4.3GB或以上 |
局域网络 |
100BASE-TX/10BASE-T均可以使用 |
系 统 |
Windows95/98 |
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CLEAN ROOM MONITORING SYSTEM
测试对象的微粒子由激光照射时,产生乱散光,由其强度来判定粒子的大小,由乱散光和采样流量来求出粒子的浓度。本系统传感器正是采用这一原理。 |
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激光粒子传感器 (LPS)
Model 3793S·3794S·3795S |
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光源采用激光二极管,经由分配器供给电源,实现了仪器的小型化。
由于本体内置LCD 显示器,因此仪器能显示测试状态,并且当检测到异常数值时,在现场即可确认粒子的计数状态。 |
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技术规格:
型 号 |
3793/3793S |
3794/3794S |
3795/3795S |
测试范围 |
0.3/3.0μm |
0.3/0.5μm |
0.5/5.0μm |
采样流量 |
2.83l/min(0.1cfm) |
浓度范围 |
0~1,000,000个/立方英尺 |
接 口 |
RS-485 |
显 示 |
5行LCD显示 |
电 源 |
DC24V(由分配器提供) |
输 出 |
140(W)×80(H)×39(D)mm |
尺 寸 |
约0.6kg |
※ 真空管路中每一个传感器均需要-60kPa,3l/min以上的吸引能力 |
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激光粒子传感器 (LPS)
Model 3792-01/02 |
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该计数仪试时可测试0.2μm以上粒子的粒子计数器。
该仪器带有数字输出/模拟输出两部分,所以以往的多用途传感器也可接到分配器上。 |
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技术规格:
型 号 |
3792-01 |
3792-02 |
测试范围 |
0.2/0.3μm |
采样流量 |
2.83l/min |
1.00l/min |
浓度范围 |
0~1,000,000/cf |
0~3,000,000/cf |
接 口 |
RS-485 |
电 源 |
DC24V(由分配器提供) |
输 出 |
140(W)×80(H)×39(D)mm |
尺 寸 |
约0.6kg |
※ 真空管路中每一个传感器均需要-60kPa,6l/min(3792-01),
4l/min(3792-03) 以上的吸引能力 |
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分配器
MODEL 3770 |
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把与该仪器相连的各种传感器和接口箱(输出、输入变换器)所采集的测试数据传送至计算机。同时,也向传感器提供电源。最多可连接8台传感器或接口箱。 |
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技术规格:
型 号 |
3770 |
接 口 |
RS-485 |
通讯速率 |
4800、9600、19200bps |
电 源 |
AC 85-132V、170-264V |
尺 寸 |
300(W)×100(H)×200(D)mm |
重 量 |
约3kg |
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温湿度传感器及接口箱
Model 3772-01 3772-02 |
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接口箱可以将具有模拟输出的传感器的检测信号转换成标准的RS-485输出。此外,通过信号电缆也向传感器提供电源。
温湿度传感器是温度、湿度测试用的一体化传感器。传感器接口箱获得电源供给,将测试数据转换成对应的4-20mA标准信号输出。
温湿度可以手持测试,也可以固定到特定的场所进行连续测试。 |
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接口箱技术规格:
型 号 |
3771
3772-01(MODEL 0841 T/H)
3772-02(4~20mA、0~1V、1~5V、其它传感器) |
流 量 |
0.1cfm(2.83l/min) |
输 入 |
4~20mA、0~1V、1~5V |
输 出 |
RS-485 |
电 源 |
DC 24V(MODEL 3770分配器供给) |
尺 寸 |
140(W)×80(H)×47(D)mm |
重 量 |
约0.5kg |
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温湿度传感器技术规格:
测试范围 |
温 度T:0~50°C
相对湿度H:0~100%RH |
测试精度 |
T:±0.5°C
H:±2%(30~85%RH)
±2%(0~30,85~100%RH) |
电 源 |
由接口箱供给(MODEL3772-01) |
输 出 |
4~20mA |
尺 寸 |
Ф20×235mm |
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