GPI 系列激光干涉仪

GPI 系列激光干涉仪测量设置示例

GPI 系列激光干涉测量仪 ，运用移相干涉原理，提供高精度的平面面形 ，球面面形，曲率半径，样品表面质量，传输波前的测量和分析。可应用于：
  • 平面和球面的面形检测
  • 楔角、直角棱镜的测量
  • 任意角度的加工偏差
  • 光学材料均匀性测量
  • 角锥角度和面形偏差测量
  • 精密盘片质量检验
  • 三平板绝对测量
  • 双球面绝对测量
  • 静态干涉条纹判断
  • 泽尼克多项式分析
  • 球面曲率半径测量

GPI 系列高精度激光干涉仪的主机为 Fizeau 型干涉仪，具有光学器件少，精度高，易于使用等特点。检测光束直径从1英寸（25mm）至36英寸（910mm），适用不同尺寸的样品。由于采用精密移相技术和高分辨率 CCD 接收器件（分辨率最高可达2048 X 2048像素），配合 Zygo 公司专有的频率域分析技术和功能强大的 软件，可以获得高精确性和高质量的测量结果。

 
GPI系列基本型 性能简介
GPI LC GPI系列配置基础,配有9英寸的监视器,可作目测条纹分析
GPI ST 在LC的基础上加上了6倍变焦和对焦功能,使得高分辨率的CCD更好发挥作用
GPI XP 在ST的基础上增加了精确的相位调制和具有强大功能的Metropro 软件,是GPI系列基本型中最实用的配置
GPI XPHR 在XP基础上提高了CCD的分辨率,使测量更精确
GPI HS 数字式CCD提高了测量的精度和稳定性
GPI MPT 适用于工厂环境，微米级测量的干涉仪
GPI 系列激光干涉仪的最大特点是其积木式的结构, 可从4英寸( 102 mm )的基本型任意扩展升级至较大口径(最大可达36英寸/910mm的配置, 而您以前所花的每一分钱都不会浪费.

GPI 系列激光干涉仪不仅可以横向安装,更采用了灵活的纵向安装方式,可以适用于工厂内大规模生产的需要.

 

 齐全的配件更能使 GPI 系列激光干涉仪发挥作用