FS-300 12寸晶圆专用检查显微镜 特长： 新开发300mm的载物台，可进入12寸晶圆全领域的观察 改善接目镜的水平位置，减少使用者眼睛的疲劳度。 高刚性、高耐振性一体成型的构造，适合做高倍率的观察。 拥有明视野、明暗视野、偏光、微分干涉之数种表面观察。 长作动距离对物镜和超广视野的对物镜，轻松地进行观察。