Dimension Vx340 AFP是一种功能强大的新型自动化测量系统，用于化学机械抛光（CMP）加工中的特性表征和质量控制。它可以对凹陷点、腐蚀点、low k、copper和STI等与CMP相关的小于65纳米的特征进行无损准确测量。Vx330 AFP同样能对与CMP相关的刻蚀、镶嵌和栓塞等处理的结构进行深度测量。无比的分辨率和性能确保Vx340 AFP可以准确表征CMP过程，并最终提高产量。它提供了工业上能得到的最大的处理能力和测量重复性。这种测量工具联合了原子力显微镜的高分辨率和轮廓仪的长程扫描能力于一体，因此在检测和控制CMP过程是直接、准确、可靠且可重复的。
