Dimension 5000扫描探针显微镜（SPM） 　　 Dimension 5000 SPM具有对大样品的自动成像能力，使之在半导体和数据存储设备的制造过程中广泛使用，它能够测量直径达350 mm的样品上测量100多个区域。它具有原子力显微镜和扫描隧道显微镜的全部配置，可以在三维尺寸上探测缺陷、测量表面粗糙度和其它特征，测量过程对样品无损伤并且无需对样品进行预处理和修饰。