Dektak 6M台式探针轮廓仪 　　 Dektak 6M台式表面轮廓仪可测量任何表面的台阶高度。软件控制探针对样品的压力，最低可达1mg；最大可测量的高度为1mm；样品尺寸最大可达6英寸。它的低惯量传感器可精确测量台阶高度，表面粗糙度和波纹度。新型的HAR探针可提供非常高的外形比，这在以前的探针式轮廓仪是很难达到的。Dektak 6M结构紧凑，使用方便，经济。在MEMS，材料科学和半导体应用上都很广泛。