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| X、Z轴同时配备广．狭范围高精度雷射摄影线性尺，实现X轴6.25nm、Z轴2nm之世界最高水准解析度能力。 |
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| 轴驱动部．Z轴检出器上装有温度感应器，对於温度变化具有补正功能外，同时於Z轴配备有随驱动部移动负载重量变化而产生之扰动补正功能。（专利申请中） |
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| 提高了Z轴检出器对高周波成分的反应性，即使是陡峭的凹凸面也能抑制测针跳动，确实地扫描量测面，实现了动态控制方式之量测。（专利申请中） |
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| 电脑解析方面，具备高性能及优越操作性之优点，并且统合更新版本FORMPAK-1000与SURFPAK-SV之FORMTRACEPAK软体。 |
