BENCHMARK

高精度合式测量系统


·U2（XY平面）=（2.0+L/250）μm
·分辨率 0.1μm
·两个不同倍率光学系统
·具有专利权的可编程环光(PRL)
·Windows 2000操作系统
·自定义客户界面
·独有的边缘寻边的算法程序

 

 
Benchmark 仪器参数指标
测量范围 300×150×150 MM
分辨率 0.1μm(0.000004")
马达驱动系统 DC 伺服马达
速度 200 MM/sec
载重 25kg
物镜放大倍数 0.8x / 3.2x 1x / 4x 2.5x / 10x 5x / 20x 10x / 40x 25x / 100x
工作距离 84 MM 34 MM 32 MM 33 MM 20 MM 13 MM
视野（ MM） 低倍

7.36
x
5.74 		高倍

1.84 x 1.43 		低倍

6.13 x 4.78 		高倍

1.53
x
1.2 		低倍

2.45 x 1.91 		高倍

0.61 x 0.48 		低倍

1.23 x 0.96 		高倍

0.31
x
0.24 		低倍

0.61 x 0.48 		高倍

0.15 x 0.12 		低倍

0.25 x 0.19 		高倍

0.06
x
0.05
分辨率 9.96 2.49 8.3 2.08 3.32 0.83 1.66 0.42 0.83 0.21 0.33 0.08
屏幕显示放大倍率 30x 120x 36x 143x 90x 358x 179x 716x 358x 1431 895x 3578
光源系统 标配：LED背光，多种颜色的同轴正光
选配：具有专利的可编程的环光
影像处理 用户可根据自己需要去除毛边，边缘寻边器，快速寻边器，自动聚焦，及可供选取配的具有专利栅格投影系统，区域寻中心功能，灯炮寿命测试。

软件

多种座标系统，智能化搜索和建立座标系统，功能强大编程功能，包括数学计算，变量名定义，循环分流等。多种不同CAD文本输入。数据可以直接输出去数据库，SPC程序。
图象处理传感器 高分辨率数字化B&WCCD照相机 765×576象素。
计算机

Intel奔腾4处理器Windows 2000操作系统

电源 自动转换100－240V 50/60HZ
环境 17～33℃ 20～80%湿度
重量 155 ㎏
外观尺寸 720×775×873 MM
工作站 标配：17″SVGA显示器，操作标，鼠标，键盘

选配：15″LCD显示器，操作杆，鼠标，键盘
精度 U2（XY平面）=（2.0+L/250）μm
U1（Z轴）=（1.5+L/50）μm
L：测量长度单位 MM