規格 / 明細:

• 彩色系統
• (150x150x150) mm (300x300x150) mm
• XY精度= ±2.5+L/50 (L in mm)
• Z精度= ±2.0+L/25 (L in mm)
• XY重覆性 5.0 μm
• Z重覆性 4.0 μm
• 放大倍率 20x ~ 250x
  base on (600x450x150) mm Type