以光切法测量零件表面的微观不平度，对于表面划痕，刻线或某些缺陷的深度也可以进行测量。

主要技术规格
不平深度测量范围：0.8-----80μm（▽3-----▽9)
不平宽度：用测微目镜0.7μm---2.5mm
用坐标工作台0.01---13mm
总放大倍数：60×/120×/260×/510×