直线度测量仪

该系统利用花岗石平板相互垂直的两个平面，作为高精度气浮区。真空吸附滑块在相互垂直的高精度气浮区做无摩擦的高精度直线运动。 本机直线度优于0.5微米/800毫米。当环境条件(温度、湿度、震动、气源)理想状态下，直线度会更高。