◆ 技术指标
进样系统
1、石英炬管: |
20mm三同心型 |
2、喷雾器: |
6mm同轴型 |
3、雾室: |
35mm双筒型 |
4、等离子气流量: |
100-1000 L/h |
5、辅助气流量: |
6-60 L/h |
6、载气流量: |
6-60 L/h |
7、载气压力: |
最大为0.3 Mpa |
射频发生器
1、电路类型: |
自激振荡电路,同轴电缆输出, 匹配调谐 |
2、工作频率: |
40MHz |
3、频率稳定性: |
< 0.1% |
4、输出功率: |
800-1200W |
5、输出功率稳定性: |
< 0.2% |
6、电源: |
220V 25A |
扫描分光器
1、光路系统: |
Czerny Turner型 |
2、焦距: |
750mm、1000mm |
3、光栅: |
离子刻蚀全息光栅,刻线密度3600线/mm
或 2400线/mm, 刻线面积(80X100)mm |
4、分辨率: |
≤0.008nm |
5、扫描波长范围: |
3600线/mm扫描波长范围:
195-500nm
2400线/mm扫描波长范围:
195-800nm |
6、扫描步距: |
0.0006nm |
7、扫描重复性: |
≤0.0006nm |
检测系统
1、单片机控制的F/V变换电路 |
2、采样时间: |
100ms-10s |
3、
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5、扫描波长范围: |
3600线/mm扫描波长范围:
195-500nm
2400线/mm扫描波长范围:
195-800nm |
6、扫描步距: |
0.0006nm |
7、扫描重复性: |
≤0.0006nm |
检测系统
1、单片机控制的F/V变换电路 |
2、采样时间: |
100ms-10s |
3、光电倍增管: |
R212UH |
4、负高压响应时间: |
200-990V,稳定性≤ 0.05% |
整机技术指标
1、分析速度: |
一分钟内分析10个元素以上 |
2、精密度: |
相对标准偏差RSD≤2%(短期稳定度) |
3、稳定性: |
相对标准偏差RSD≤3%(一小时测量) |
4、测量线性范围: |
≥5个数量级 |
5、检出限低: |
代表元素检出限见下表 |
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